響應時間為 200 毫秒的快速質量流量控制器。

通過熱傳感器實現(xiàn) 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。 LINTEC 的非接觸式熱式流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的快速流量控制。

它具有 1.0% S.P. 的高精度±流量精度，并且可以從 DeviceNet 和 EtherCAT 中選擇數字通信方式。

北崎供應 lintec琳得科MC-7100C質量流量控制器
北崎供應 lintec琳得科MC-7100C質量流量控制器MC-7000 系列

快速流量控制

北崎供應 lintec琳得科MC-7100C質量流量控制器從頭開始控制北崎供應 lintec琳得科MC-7100C質量流量控制器脈沖響應性

使用示例

高速蝕刻工藝

在半導體制造工藝中，需要在實現(xiàn)小型化的同時提高吞吐量。 對控制反應氣體流速以縮短流量控制啟動時間的質量流量控制器的需求也越來越大。 高速質量流量控制器 [MC-7000] 是流量傳感器和流量測量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，可實現(xiàn) 200 毫秒的高速響應。 非接觸式設計可實現(xiàn)腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。

規(guī)格表

溫度 *小壓差 *壓差 精度 控制范圍 *低 F.S. 馬克斯 FS 密封
5~50°C 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~*滿量程 5SCCM 20 升 金