晶圓非接觸搬運卡盤特點:
(使用角度為固定角度,使用角度的變更必須改變主體部) 由于導向制動器具有平緩的錐度,所以在點上接觸晶片邊緣。 使用防靜電聚碳酸酯的導向環(huán),可以通過目視確認定位和吸引狀態(tài)。 通過采用本體部導電性尼龍樹脂實現(xiàn)了輕量化。 兩面都有圖案印刷,并且能對應50μm的薄處理難的晶片。 角型等對象物合起的特別訂購設計品也對應。
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