EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT1100F

EBARA荏原 渦輪分子泵 EBT1100F

渦輪分子泵優(yōu)點

高真空性能：渦輪分子泵能夠實現(xiàn)高真空（10^-10 Pa級別），滿足高精度工藝和科學實驗的需求。

無油污染：由于無需油液潤滑，渦輪分子泵特別適合對潔凈度要求極高的行業(yè)，如半導體和光學鍍膜。

高效抽氣：對輕質氣體和中質氣體具有較高的抽氣速度，能夠快速建立并維持真空環(huán)境。

長壽命和低維護：渦輪分子泵的結構設計精密，運行穩(wěn)定，維護成本低，使用壽命長。

環(huán)保節(jié)能：無油運行減少了油類廢棄物的產生，符合環(huán)保要求；同時，現(xiàn)代渦輪分子泵采用高效電機和變頻控制技術，進一步降低了能耗。

適應性強：能夠處理多種氣體，包括腐蝕性氣體和易凝結氣體，適用范圍廣泛。

渦輪分子泵特點

高轉速：渦輪分子泵的轉子轉速通常高達每分鐘數(shù)萬轉，甚至過10萬轉，以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。

無油污染：與油封式真空泵不同，渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑，避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染，特別適合高潔凈度要求的應用。

寬壓力范圍：渦輪分子泵能夠在高真空（10^-3 Pa至10^-10 Pa）范圍內高效工作，與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。