CMS0010/0050/0200/0500/1000/2000
氣體質(zhì)量流量計
（用于氫氣和氦氣）
CMS系列高可靠性氣體質(zhì)量流量計，使用了山武公司新近開發(fā)的微流量傳感器，這種傳感器是感熱式流量傳感單元。
小型結(jié)構(gòu)、高精度傳感器、高密度集成電路設計技術的結(jié)合使這種儀表具有精度高、量程比大，且成本低的優(yōu)點。