日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS1200A用于刻蝕設(shè)備去膠設(shè)備等離子清洗設(shè)備北崎熱賣

發(fā)布時間：2025/08/19 10:56:35 發(fā)布廠商：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺

螺桿型干泵Model:MS

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計的轉(zhuǎn)子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

用途

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

規(guī)格

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
排氣速度 1	m³/h	115	560	980
到達(dá)壓力	Pa	≦0.6	≦0.1
電源電壓		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	L/min	>4.0
Purge gas量 *1	SLM	0~50
水蒸氣處理量 1*3	kg/h	1.5
噪音值　*1	dB(A)	61	62	64
吸氣口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量 *4	kg	139	241	264
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品		Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件		Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件		Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到達(dá)壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的*水蒸氣處理量
*4：Including a silencer

排氣速度曲線

MS120A	MA600A
MS1200A

MS1200A

日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS120

愛發(fā)科螺桿型干泵

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日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS1200A用于刻蝕設(shè)備去膠設(shè)備等離子清洗設(shè)備北崎熱賣

螺桿型干泵Model:MS

特點

用途

規(guī)格

排氣速度曲線