MEMSMap 510激光多普勒振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

基于激光的微結(jié)構(gòu)高頻、低振幅振動(dòng)三維測(cè)量系統(tǒng)。

MEMSMap 510還可以測(cè)量靜態(tài)位移，它可以測(cè)量粗糙和光滑的表面，具有微米的空間分辨率。

通過(guò)使用長(zhǎng)焦距物鏡，MEMSMap 510可以通過(guò)窗口和熱過(guò)濾器、鏡子以及液體介質(zhì)進(jìn)行測(cè)量。             

?MEMS和NEMS ?微結(jié)構(gòu) ?傳感器

?振動(dòng)模式分析?響應(yīng)譜?壓力傳感器?加速度計(jì)

?陀螺儀?碰撞傳感器?高溫測(cè)量?真空室測(cè)量

?熱偏轉(zhuǎn)測(cè)量?老化效應(yīng)分析             

?汽車工業(yè)?傳感器工業(yè)?醫(yī)療工業(yè)?航空航天工業(yè)?電子工業(yè)?研發(fā)?產(chǎn)品測(cè)試

MEMSMap 510使用擴(kuò)展的激光束照亮目標(biāo)區(qū)域，同時(shí)通過(guò)顯微物鏡將目標(biāo)成像到CMOS傳感器陣列上。

對(duì)于平面外測(cè)量，使用內(nèi)部參考光束干擾目標(biāo)光。對(duì)于平面內(nèi)測(cè)量，兩束激光用于物體照明。

對(duì)于振動(dòng)測(cè)量，系統(tǒng)計(jì)算機(jī)使用信號(hào)發(fā)生器驅(qū)動(dòng)激勵(lì)裝置，目標(biāo)物體在一個(gè)頻率范圍內(nèi)被激勵(lì)。

振動(dòng)振幅條紋可以實(shí)時(shí)顯示，同時(shí)采用的記錄算法計(jì)算數(shù)值振幅和相位圖。

對(duì)于靜態(tài)撓度測(cè)量，光電管技術(shù)基于相移來(lái)記錄和計(jì)算被測(cè)物體的靜態(tài)撓度。

激光器類型：Nd：YAG/2

激光波長(zhǎng)：532nm

CCD分辨率：1936*1216/CMOS

振幅分辨率（數(shù)字模式）：0.1nm

振幅分辨率（實(shí)時(shí)模式）~1nm

3D頻率范圍：0-240MHz

  激光多普勒測(cè)振儀以其測(cè)速精度高、測(cè)速范圍廣、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、非接觸測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)在航空航天、機(jī)械、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用和快速發(fā)展。激光測(cè)振儀主要應(yīng)用多普勒效應(yīng)實(shí)現(xiàn)物體的振動(dòng)測(cè)試，利用激光的非接觸測(cè)量可實(shí)現(xiàn)一些特殊環(huán)境下的測(cè)試，例如對(duì)微電子元件（MEMS），機(jī)床高速旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng)及軸向振動(dòng)以及在高溫腐蝕環(huán)境下的測(cè)試，實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)的接觸式傳感器在這些應(yīng)用領(lǐng)域的空白。