價(jià)格
￥6,329.00
型號(hào)
MS120A
品牌
ULVAC愛(ài)發(fā)科
所在地
暫無(wú)
更新時(shí)間
2025-03-06 13:58:29
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北崎供應(yīng)ULVAC愛(ài)發(fā)科MS螺桿型干泵
北崎供應(yīng)ULVAC愛(ài)發(fā)科MS螺桿型干泵
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎(chǔ)上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號(hào)專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)。
特點(diǎn)
通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。
采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。
用途
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
規(guī)格
| 型式 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| *排氣速度 *1 | m3/小時(shí) | 115 | 560 | 980 |
| 到達(dá)壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V 等級(jí)：3相， 50/60Hz， AC200-240V±10% 或 400V 等級(jí)：3相， 50/60Hz， AC380-480V±10% | |||
| 消費(fèi)電力概略值 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
| *水蒸氣處理量 *1*3 | 公斤/小時(shí) | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50（臥式） / VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | 肯氟烴40 | |||
| 質(zhì)量 *4 | 病歷 | 139 | 241 | 264 |
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 快速手冊(cè)， 電源連接器， 防水電纜夾， 遙控連接器， 電源連接器防護(hù)罩， 消音器 | |||
| 本體選配件 |
電源：200V 級(jí)或 400V 級(jí) 密封材料：FKM 或 FFKM |
|||
| 外部選配件 | Packege 排氣口、抗震支架、LR 兼容單元（入口、遠(yuǎn)程）、吹掃氣體閥 | |||
*3:吹掃氣體使用時(shí)的*水蒸氣處理量
*4:包括消音器
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北崎供應(yīng)ULVAC愛(ài)發(fā)科MS120A螺桿型干泵
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