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日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS120A用于刻蝕設(shè)備去膠設(shè)備等離子清洗設(shè)備北崎熱賣
螺桿型干泵Model:MS
通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕。 采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。特點(diǎn)
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。用途
*1：到達(dá)壓力時(shí) MS120A MA600A MS1200A規(guī)格
型式 MS120A MS600A MS1200A *排氣速度 *1 m3/h 115 560 980 到達(dá)壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消費(fèi)電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 *水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質(zhì)量 *4 kg 139 241 264 適用規(guī)格 CE、cTUVus 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer 本體選配件 Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時(shí)的*水蒸氣處理量
*4：Including a silencer排氣速度曲線
