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日本ULVAC愛發(fā)科多級羅茨型干泵HR600北崎熱賣

2025/08/19 11:37:51

多級羅茨型干泵

多級羅茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高良率和可維護(hù)性。*代表性的泵是羅茨式干真空泵。

多級羅茨式干真空泵在稱為外殼的盒子內(nèi)有兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子，它們通過一對齒輪以相同頻率沿相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子彼此不接觸，或者轉(zhuǎn)子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時(shí)旋轉(zhuǎn)以傳送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子具有多級結(jié)構(gòu)，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。轉(zhuǎn)子外殼內(nèi)不使用油或其他密封液體，可實(shí)現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承使用油進(jìn)行潤滑，但設(shè)計(jì)了密封結(jié)構(gòu)以防止油進(jìn)入殼體。

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。

特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化
實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。
“Model:UR”可比“Model:HR”更加高溫化。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
*的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。

用途

CVD裝置
蝕刻裝置
灰化裝置
ALD、ALH 等

規(guī)格

型號

HR60

HR90

HR300

HR600

HR1200

使用泵

干式真空泵

HR60

HR90

HR60

HR90

機(jī)械增壓泵

PRC-003A

PRC-006A

PRC-012A

*
排氣速度

50Hz

m³/h
(L/min)

62(1030)

112(1860)

359(5,980)

653(10,900)

1,012(16,900)

60Hz

m³/h
(L/min)

80(1333)

126(2100)

365(6,080)

701(11,700)

1,051(17,500)

到達(dá)壓力

0.67

*排氣壓力
（吸入圧力）

大氣壓 *1

*排氣壓力
（吸入圧力）

1~ 大氣壓

吸氣口 (CE規(guī)格)

VG50(KF50)

VG80(KF50)

VG80(KF80)

VG100(KF100)

排氣口

KF40

質(zhì)量

420

電源

三相

VAC
(Hz)

200(50/60), 220(60)

電流值

穩(wěn)定時(shí)

7.1
(at 200V)

11.2
(at 200V)

7.8
(at 200V)

12.9
(at 200V)

15.4
(at 200V)

*值

7.3
(at 200V)

11.8
(at 200V)

8.1
(at 200V)

13.8
(at 200V)

18.9
(at 200V)

冷卻水一次圧力

MPa

0.1~0.3

冷卻水出入口壓差

MPa

>0.1

冷卻水流量

L/min

>5.0

吹掃氣

一次壓力

MPa

0.1~0.5

二次壓力

MPa

0.05~0.1

N2吹掃

軸

SLM

氣鎮(zhèn)

SLM

0~45

*1 HR300、HR600、HR1200請勿在200Pa以上的吸入壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

尺寸圖

HR60	HR90
HR180	HR300
HR600	HR1200

普洱危險(xiǎn)房屋檢測鑒定機(jī)構(gòu)

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