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首頁 >北崎國際貿易(北京)有限公司> 技術文章> 北崎供應EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
北崎供應EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
2025/03/13 10:16:15
北崎供應EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
北崎供應EBARA 荏原 G6 A1-A4 燃燒式廢氣處理器
G6 系列
*流量為 1,200 L/min 的大流量燃燒廢氣處理系統
燃燒廢氣處理系統
能夠處理大流量
多種氣體的批處理
PFC 氣體的高效處理
副產品對策和粉末自動卸料功能
運行成本低
根據氣體類型和體積按需運行
提高可維護性
產品介紹
G6 型是一種燃燒式廢氣處理系統,能夠高效、大容量地處理制造過程中使用的各種氣體。 它允許的進氣量約為傳統型號的 3 倍,還可以處理高發(fā)熱的大流量氫氣。 根據要處理的氣體的類型和數量,通過按需(可變燃料供應量)運行功能降低了運行成本,并通過大容量副產品捕集器等副產品措施降低了高流量氣體處理時的維護成本和負荷。 它非常適合用于半導體、液晶面板、太陽能電池和 LED 等電子元件的制造、化學和材料制造商以及各種實驗室。
規(guī)范
型 | 單位 | G6 A1~A4 | G6 P1~P4 |
加工方法 | 燃燒 + 濕式 | 燃燒 + 濕式 | |
*進氣量 | 升/分鐘 | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
燃料 | 城市燃氣 | 丙烷氣 | |
大小 | 寬 x 深 x 高 mm | 1,200 x 1,900 x 2,300 | 1,200 x 1,900 x 2,300 |
可處理氣體示例 |
工藝(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
工藝(倉庫)氣體 SiH4、PH3、GeH4、AsH3、NH3、SiH2Cl2、B2H6、H2、PH3、Si3H8 等。 一般 清洗氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等。 一般 蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 |
|
標準設備 | 高流量 NF3 處理燃燒器 | 高流量 NF3 處理燃燒器 |
儀器相關:
山高SANKO(代理)、東機產業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設備相關:
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關:
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)