大流量BSGS大宗特氣減壓閥
大流量
BSGS大宗特殊氣體供應系統專有設計
提升閥與膜片物理連接以保障在減壓閥卸載后能夠完全關斷，避免內漏
哈氏合金(鎳基合金)(耐酸, 耐腐蝕)
精密電子拋光 10 Ra
Cv=1.2

入口壓力: 150, 1000, 1500psig
出口壓力: 0-30, 0-60, 0-100 and 0-200psig

介質接觸部件材料
閥體：316L SST 不銹鋼 電子拋光；316L SST 不銹鋼 內表面電子拋光
膜片：316 SST 不銹鋼 或Hastelloy（哈氏合金）
閥座：Teflon (150psig) 或 PCTFE (1000 & 1500psi)
提升閥：316 SST 不銹鋼 或Hastelloy-C（哈氏合金）
內表面精密電子拋光(P.E.P)：10 Ra
內部漏率檢測：＜1 * 10-9 atm cc/sec He（氦氣）

流量: 0~900slpm (0~32 SCFM)