POSIFA  PVC3000 系列熱電堆真空傳感器PVC3001PVC3004

博思發(fā)科技公司的PVC3000系列MEMS 熱電堆真空傳感器提供了性的真空測量解決方案。通過這種方案，可以測量從1mTorr (0.13Pa)到—個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(760Torr,101KPa)的整個量程。很明顯,皮拉尼真空度傳感器的測量上限僅達(dá)到30Torr。一個壓阻式壓力傳感器無法測量低于10Torr 的真空度。一個昂貴的電容式壓力傳感器的測量下限也僅有
0.1Torr.PVC3000系列傳感器可以同時(shí)取代上述幾種傳感器。
此外，PVC3000擁有快響應(yīng)時(shí)間(不2mSec)
和低功耗(典型值:45mW)的特點(diǎn)。通過休眠的手段，功耗還可以進(jìn)—步降低。比如說，把休眠觸發(fā)設(shè)置為10Hz，那么功耗可以降低到5mW。
PvC3000可以倍設(shè)計(jì)位差分結(jié)構(gòu)，將一個傳感器
暴露于真空當(dāng)中(作為測量單元)，同時(shí)把另一個傳感器放置于大氣環(huán)境中(作為參考單元)。這樣的差分結(jié)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)自動內(nèi)部溫度補(bǔ)償，以及排除其他可能造成傳感器漂移的環(huán)境因素，以此達(dá)到良好的重復(fù)性和長期穩(wěn)定性。
PVC3000采用了博思發(fā)的代熱傳導(dǎo)傳感器芯
片(PTCD20)，利用氣體的熱傳導(dǎo)率與該氣體的真空度成正比的原理設(shè)計(jì)而成。
PVC3000系列傳感器,現(xiàn)在向客戶提供兩種封裝形式。PVC3001封裝在T05的金屬殼體中，PVC3004封裝在T046的金屬殼體中。
特點(diǎn)
量程:0.001~760托（0.13~101K 帕)響應(yīng)時(shí)間:小于2毫秒
功耗:小于5mW (10Hz喚醒頻率)
.利用差分結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)自動內(nèi)部溫度補(bǔ)償（依賴于實(shí)際應(yīng)用電路)
可以浸泡于溶液中清洗,延長使用壽命應(yīng)用