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科冪 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

價(jià)格
電議

型號(hào)
PE-CVD

品牌
科冪儀器

所在地
安徽省 合肥市

更新時(shí)間
2022-04-06 09:32:15

瀏覽次數(shù)

    單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

     單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)是一款化學(xué)氣相沉積薄膜類(lèi)制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一系列的改進(jìn),包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    • 高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
    • 滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
    • 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。

    技術(shù)參數(shù)

    項(xiàng)目 TFE-1200-50-i-220
    可達(dá)溫度 1150℃(短期)
    額定溫度 1100℃
    升溫速率 ≤10℃/min
    控制精度 ±1℃
    爐管尺寸 Φ30/50/60*1200mm
    爐膛尺寸 Φ80*220mm
    加熱區(qū)長(zhǎng)度 220mm
    恒溫區(qū)長(zhǎng)度 80mm
    加熱元件 國(guó)產(chǎn)電阻絲
    額定功率 3KW
    供氣系統(tǒng) 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
    射頻電源 射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動(dòng)匹配
    真空系統(tǒng) 雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
    外形尺寸 1250510810mm

    應(yīng)用領(lǐng)域

    管式爐主要運(yùn)用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負(fù)極材料,新能源,磨具等行業(yè),測(cè)定材料在一定氣溫條件下的*設(shè)備。爐型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作容易,便于控制,能連續(xù)生產(chǎn)。

    注意事項(xiàng)

    1. 在開(kāi)始使用的時(shí)候,先要熟讀使用說(shuō)明書(shū),其次要保證用電安全,各項(xiàng)指標(biāo)檢測(cè)完畢,然后再開(kāi)始工作。
    2. 在工作中,*戴上隔高溫手套和口罩,以免吸入管式爐在高溫下發(fā)揮的有害氣體。
    3. 每次工作后,要保持管內(nèi)清潔,不要?dú)埩魳悠吩跔t內(nèi),以免出現(xiàn)化學(xué)反應(yīng),造成剛玉管的開(kāi)裂,另外,在高溫送樣或者取樣的時(shí)候也會(huì)造成剛玉管的斷裂,所以盡量控制在200度以內(nèi)進(jìn)行取樣放樣。
    4. 管式爐量放在通風(fēng)處,不要放在易燃易爆或者有腐蝕性氣體的環(huán)境中。
    5. 在溫度低于300度的時(shí)候,再次升溫的速率不能過(guò)快
    6. 使用完畢后,一定要關(guān)閉電源。

    公司實(shí)力

    安徽科冪儀器有限公司(證券代碼:612052)成立于2014年,公司部位于合肥市*高新技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),擁有9189㎡的研發(fā)制造基地,是一家*從事科研儀器設(shè)備研發(fā)、制造的*高新技術(shù)企業(yè)。 公司學(xué)術(shù)帶頭人為科學(xué)技術(shù)大學(xué)博導(dǎo),技術(shù)團(tuán)隊(duì)由2名博士、11名碩士和數(shù)名高級(jí)工程師組成,本科及以上學(xué)歷占比過(guò)80%,擁有一支高水平、跨學(xué)科的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)??苾缪兄频亩喾N具有完全知識(shí)產(chǎn)權(quán)的科研儀器并*投放市場(chǎng),產(chǎn)品覆蓋國(guó)內(nèi)所有“985”、“211”高校實(shí)驗(yàn)室及國(guó)內(nèi)外1000多家科研單位,成為科研精密反應(yīng)儀器設(shè)備領(lǐng)域首屈一指的。

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